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概要
架 台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で小型の真空蒸着装置で す。DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意しています。取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。
特徴及び使用上の注意
仕様
圧力単位
#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。
ユーティリティ
寸法図および対応表
特記事項
対応オプショナルパーツ
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