ターボ分子ポンプ排気装置

VPTシリーズ

VPT-060

概要

ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。

特徴及び使用上の注意

  • 完全ドライの排気ユニットです。
  • 設置スペースがコンパクトです。

仕様

排気速度単位

圧力単位

項目 単位 50Hz 60Hz
到達圧力 Pa 1.0×10-5
kPa -101.3 #1
質量 kg 17
吸・排気口 mm ISO63(オプション:KF-40)
使用雰囲気温度範囲 0~0
最大寸法 mm 340(W) × 340(L) × 355(H)
RoHS対応

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

寸法図および対応表

特記事項

  • 電離真空計・ピラニ真空計・配管部品はオプションです。
  • 使用条件により、性能が低下することがあります。

各種書類・資料等のダウンロード