油拡散ポンプ

油拡散ポンプとは？

　油蒸気の噴流を利用して気体分子に運動量を与え、排気口側に移送して排気する運動量輸送式ポンプです。

油拡散ポンプの特長

　油拡散ポンプは、油を加熱して蒸気を発生させるためのボイラー、決まったの方向に蒸気を噴射するため傘のように構成されたノズル(ジェット)、蒸気を凝縮する低温な側面によって構成されています。構造が単純であるにも関わらず、大きな排気速度を得ることでも知られています。単独での使用はできず、かならず補助ポンプとして油回転真空ポンプなどの併用が必要です。
【長所】構造が単純で大きな排気速度が得られる。
【短所】高真空側に油蒸気の逆流がある。

油拡散ポンプの主な利用分野

　FPD製造装置・半導体製造装置・真空蒸留・精製脱ガス・殺菌・乾燥 脱水・消毒　など

油拡散ポンプの仕組み

　本体底部にある油がヒータにより加熱され蒸気となります。その蒸気がジェット部より超音速で噴射することによって、気体は上段のジェットより下段のジェット部に押し込まれるように排気口に運ばれます。 蒸気となって噴射した油は本体の内壁で冷却、凝縮された後にもとの油となって加熱部に戻ります。

【当社の「油拡散ポンプ」製品シリーズ】
DPFシリーズ

　真空ポンプをさがす

「真空ポンプ」豆知識

各種書類・資料等のダウンロード