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メカニカルブースターポンプ
ルーツ型真空ポンプ（メカニカルブースターポンプ）
メカニカルブースタポンプとは？
メカニカルブースタポンプは排気速度を飛躍的に増大させる働きをもったポンプです。
メカニカルブースタポンプの特長
油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。
【長所】10KPa～0.1Paにおいて排気速度を飛躍的に増大させることができる。
【短所】単体では大気圧から作動することができない。
メカニカルブースタポンプの主な利用分野
半導体プロセス、真空蒸留、真空包装、脱ガス、薄膜、真空冶金、 低密度風洞実験、宇宙開発、真空含浸、真空乾燥 など
メカニカルブースタポンプの仕組み
ケーシング内にある2個のマユ型ロータが、その軸端の駆動ギアにより互いに反対方向に同期回転します。吸気口から入った気体はケーシングとロータ間の空間に閉じ込められ、ロータの回転で排気口側に排出され、後段の補助ポンプで大気中に放出されます。
【当社の「ルーツ型真空ポンプ（メカニカルブースターポンプ）」製品シリーズ】
MBSシリーズ
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