【真空基礎知識】ドライ真空ポンプの排気原理

ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは？

　ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

●１段式：

　2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

●２段式：

　ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。現在では、3段式や4段式のものもあります。

1段式と2段式の比較

●１段式　到達圧力：高い　排気速度：大きい

●２段式　到達圧力：低い　排気速度：小さい

1段式と2段式のポンプ室の組み合わせ

ドライ真空ポンプの排気原理

●スクロール型ドライ真空ポンプ

●多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

① ロータがケーシング内部で互いに反対方向に回転します。

② 吸引ガスは、図[1] ～ [2]にいたる間に、葉端A・とケーシングの壁面で囲まれた容積“V”で捕捉され、[3] ～ [5]を経て吐出口に到達し、吐出されます。

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

　動画で見る（ダイアフラム型ドライ真空ポンプ）

●揺動ピストン型ドライ真空ポンプ

　動画で見る（揺動ピストン型ドライ真空ポンプ）

●回転翼型ドライ真空ポンプ

●メカニカルブースタポンプ

　反対方向に回転するまゆ形ローターを90°位相をずらせて取り付けます。ローターはシリンダーと接触することなく気体輸送します。この形式のポンプは、大気に放出する他の形式のポンプ（例えば油回転真空ポンプなど）を補助ポンプとして使用し、高真空側に用います。構造的に摺動部がなく、高速回転が可能で高排気速度のものができます。